日本のスクリーンは韓国サムスンに技術だけ取られ、売上高シェアも逆転された

半導体製造装置の売上高ランキングの異変

　半導体製造装置の売上高ランキング・トップ10でちょっとした異変が起きている。その異変とは、2021年に韓国の装置メーカーのSEMESが、洗浄装置で世界1位のシェアを持つ日本のSCREEN（スクリーン）を抜いて6位にランクインしたことである（図1）。

　2000年以降、装置の売上高ランキング・トップ10は日米欧が独占してきた。また、2007年以降は、トップ5が米アプライドマテリアルズ（AMAT）、欧州のASML、米Lam Research（Lam）、東京エレクトロン（TEL）、米KLAに固定されていた。トップ5以上と6位以下には売上高に大きな差があるが、これまで6～10位は、日米欧の装置メーカーが上位を目指して激しいランキング争いを展開してきた。

　そのようななか、2016年に韓国のSEMESが初めてトップ10入りを果たした。その後、SEMESは2019年にトップ10から落ちてしまったが、2020年に再びトップ10入りした。そして、2013年以降6位の座を占めていたスクリーンに替わって、2021年にSEMESが初めて6位にランクインしたのである。

　このように、装置メーカーとしてSEMESが急成長している。そこで本稿では、なぜSEMESが6位にランクインするほど成長できたのかを分析してみたい。

SEMESの生立ち

　時は1993年に遡る。この頃、韓国サムスン電子はDRAMの企業別の売上高で世界1位に躍り出ていた。そして、そのサムスン電子は、ニコン、TEL、大日本スクリーン製造（のちのスクリーン）など日本の装置メーカーに、サムスン電子向けの装置は韓国内でつくるように求めてきたという。

　しかし、多くの日本メーカーは、技術流出を恐れてそれを拒否した。ただし、大量に装置を買ってくれるカスタマーの要求を無下に断ることもできないので、装置の最終調整を韓国国内で行うようにした。要するに、形だけは従っているように見せかけて、お茶を濁したわけだ。

　ところが、スクリーンだけはサムスン電子の要求に応じて、1993年1月にサムスンと合弁でK-DNSを設立してしまった。スクリーンはこの頃、「大日本スクリーン製造」という社名であり、DNSと略されていた。だから、K-DNSとは「KoreaのDNS」という意味であろう。そしてK-DNSには、スクリーンの技術者が多数派遣され、サムスン電子用の洗浄装置はここで製造されることになった（図2）。

　実際に、現地生産された洗浄装置の1号機は、1994年5月にサムスン電子の器興工場に納入された。その後もK-DNSはサムスン電子用の洗浄装置を供給し続けた。そのK-DNSは、 2005年1月に社名を「SEMES」に変更した。SEMESの“SE”は、Samsung Electronicsの頭文字である。

　さらに2010年にはスクリーンはSEMESの持ち株を売却し、SEMESはサムスン電子の100％子会社となった。恐らく、スクリーンがすすんで売却したのではなく、サムスン電子から圧力をかけられて売却せざるを得ない状態になったのだろう。その後、サムスン電子の洗浄装置はすべてSEMES製となり、スクリーンは1台もサムスン電子に装置を供給できなくなったという話が伝わってきた。要するに、スクリーンは軒を貸して母屋を乗っ取られてしまったわけだ。そして、2021年にとうとう装置の売上高で、僅差ではあるがSEMESがスクリーンを追い越してしまったというわけでである。

洗浄装置におけるパラダイムシフト

　スクリーンもSEMESも、洗浄装置を主力のビジネスとしている。その洗浄装置については2008年にパラダイムシフトが起きた（図3）。洗浄装置には25～100枚のシリコンウエハを同時に洗浄するウエットステーション（またはバッチ式洗浄装置）と、ウエハを1枚ずつ洗浄するスプレー洗浄装置（枚葉式洗浄装置）の2種類がある。